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真空系統(tǒng)中真空泵該怎么選擇

在真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)計(jì)算中,人們把直接對(duì)真空容器進(jìn)行抽空的真空泵叫做主泵,而把維持另一個(gè)泵的前級(jí)壓力在臨界前級(jí)壓力以下的真空泵叫做前級(jí)泵。為了使被抽容器中從大氣壓力開(kāi)始很快地抽到主泵能夠開(kāi)始工作的壓力的真空泵,叫做預(yù)抽真空泵。對(duì)一個(gè)真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō),常常把系統(tǒng)的前級(jí)泵兼做預(yù)抽真空泵。這里說(shuō)的選泵,是指選擇主泵。關(guān)于配泵,狹義的講,是指正確地為主泵匹配好合理的前級(jí)泵,廣義而言,則包括選擇前級(jí)泵和預(yù)抽泵。真空系統(tǒng)中的核心設(shè)備是真空泵,真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中關(guān)鍵步驟是選泵與配泵。

選泵的具體內(nèi)容,就是要確定主泵的類(lèi)型,決定主泵的大小。選泵的原則是工藝上可靠,經(jīng)濟(jì)上合理,技術(shù)上先進(jìn),系統(tǒng)上最優(yōu),形式上藝術(shù)。

確定主泵類(lèi)型,首先要考慮的是可行可靠問(wèn)題,應(yīng)該依據(jù)真空泵所要達(dá)到的極限真空度和工作真空度(選取主泵的極限真空度比真空室的極限真空度稍高),根據(jù)被抽氣體種類(lèi),每種氣體所占比例,以及氣體中夾雜灰塵等情況,選擇符合工藝要求的真泵空。當(dāng)兩種以上的不同類(lèi)型泵都適合上述條件時(shí),則要根據(jù)初次投資和日常維護(hù)費(fèi)用等經(jīng)濟(jì)指標(biāo),選擇經(jīng)濟(jì)上合理的真空泵。然后,再進(jìn)一步比較環(huán)境等條件,選取最佳的。為此,必需從整套真空系統(tǒng)出發(fā),全面考慮,切不可僅僅作真空泵的比較就給予確定。

決定主泵大小,是根據(jù)真空室在工作時(shí)所需要的工作壓強(qiáng)和室內(nèi)的最大排氣量。真空室內(nèi)的工作壓強(qiáng)一定要選在主泵的最佳抽速壓強(qiáng)范圍之內(nèi)。另外,還要考慮真空室的大小和抽氣時(shí)間,因?yàn)樵诔闅鈺r(shí)間一定條件下,若真空室體積越大,則主泵的抽速也越大。

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