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電子工業(yè)應(yīng)用中的真空閥門



閥門在真空裝置中,是為了分隔系統(tǒng)的各部分用的。按其工作特性,可分為預(yù)真空閥和高真空閥,兩者主要區(qū)別在于其出入口直徑尺寸和真空密封結(jié)構(gòu)。前者的出入口直徑,一般在15-20毫米左右,多用真空橡皮墊圈密封,用于預(yù)真空部分,而后者的口徑為65、100、150、180毫米或更大些,密封多用金屬墊(特別是用于超高真空部分的閥門),只有極限真空低于10-6托時,用橡皮密封才較多。它們在使用材料上,均廣泛應(yīng)用黃銅、鋼、不銹鋼等金屬,由于鑄造具有多孔性,故真空閥門都不用鑄件。

對于閥桿與蓋或與閥體的密封主要形式,不外乎橡皮的、金屬皺紋管的兩種,薄膜的(指在閥中用被青銅或鎳皮制成的,厚度為0.1-0.15毫米的皺紋薄膜密封,一般其往復(fù)行程為2-4毫米)用得較少。

在閥門孔處的密封(指關(guān)閉閥的密封),一般是用真空橡皮。用錐形閥盤(由軟質(zhì)材料銀、鎳或黃銅制成)與圓往形閥座(用淬火鋼)的線狀緊密貼合密封,由于它的耐久性不好(如閥盤對閥座略為偏斜,密封表面加工有缺陷,以及過份壓緊閥盤而擠壓閥座,都會使閥門不再嚴(yán)密而需修理).只用于超高真空中。而油密封及液態(tài)金屬密封,除某些真空度要求高而導(dǎo)管尺寸不太大的系統(tǒng)外,應(yīng)用也不多。

在設(shè)計真空閥時,應(yīng)充分注意到它的工作特性,合理設(shè)計結(jié)構(gòu)和提出技術(shù)條件.滿足以下幾點主要要求:

l)閥的任何地方都不應(yīng)漏氣。

2)閥的連接部分和閥門處在關(guān)閉時的密封,應(yīng)保證真空嚴(yán)密性和可靠性。密封零件最好可以更換。

3)閥的出入口及閥腔,應(yīng)盡可能是直的,使氣流少轉(zhuǎn)彎,并在閥開啟時,有足夠大的空間供氣流通過,有良好的通導(dǎo)能力。

4)閥的開關(guān)操作應(yīng)輕快方便,極位(開、關(guān)、放氣……)操作順序和轉(zhuǎn)動方向應(yīng)加標(biāo)志并定位。

5)閥的全部金屬零件(特別是內(nèi)表面)應(yīng)都是抗腐蝕的,蒸汽壓低的,表面光潔的。

6)閥的結(jié)構(gòu)應(yīng)簡單和便于制造,注意焊縫應(yīng)減少到最低限度。少用或避免用特殊加工及自己工廠條件難以加工的結(jié)構(gòu)(如真空焊接)。

常見的真空閥的典型結(jié)構(gòu)原理。它們的操縱動力,包括手動、氣動和電動等。
真空閥的結(jié)構(gòu)形式,豐要分為單閥(包括二通和三通。直通和F形,T形)和組合閥(多通)兩種。其中特別是高真空閥和組合閥,在閥體上往往還要連接真空測盆接頭或其他接頭(如引電入真空的電接線柱)。

隨著我國電子工業(yè)的發(fā)展,真空裝置為滿足新的生產(chǎn)工藝,復(fù)雜的真空系統(tǒng)使用著許多閥門來控制,為了使系統(tǒng)導(dǎo)管長度縮短,提高通導(dǎo)能力,簡化系統(tǒng)結(jié)構(gòu),并便于操作和制造,目前已逐漸向組合閥邁進,用一個閥來代替若干個閥的工作,并集中控制。用于真空機組上的組合閥(又叫多擋閥)結(jié)構(gòu),在這個閥上,集中了頂真空、高真空、充、放氣等閥,并根據(jù)操作需要,可方便地用三個手柄,控制預(yù)真空泵、高真空泵、儲氣桶(氣雄)、充氣瓶(或管道)與容器(指真空室)的通路的接通或斷開,使它們各自單獨與容器接通,或串聯(lián)工作,或完全隔離,從而有利于不同的工藝操作。工作容器可以安裝在閥體上部,也可以安裝在側(cè)面。

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